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FHD沉積設(shè)備
FHD沉積系統(tǒng)設(shè)計為在最短的時間內(nèi)在基底上沉積硅和在基底上沉積硅酸鹽（二氧化硅），特別適用于光波導(dǎo)工藝的二氧化硅沉積，薄膜厚度達到25微米以上。
-技術(shù)優(yōu)勢
1.首款自主研發(fā)的FHD鍍膜設(shè)備 ，TGV鍍銅設(shè)備實現(xiàn)國外競品完全對標(biāo) ，產(chǎn)品已進客戶端量產(chǎn)。
2.FHD鍍膜設(shè)備 ，TGV鍍銅設(shè)備為切入口 ，布局半導(dǎo)體光量子集成芯片... MORE +
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一代FHD沉積設(shè)備
FHD鍍膜設(shè)備 ，TGV鍍銅設(shè)備為切入口 ，布局半導(dǎo)體光量子集成芯片和先進封裝制程中合成石英和光纖設(shè)備及產(chǎn)品線，可替代進口設(shè)備 MORE +
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