wafer尺寸：6寸  8寸  12寸
板級(jí)最大尺寸 : 510*515
深寬比：1:1-20:1
襯底材料： 玻璃、石英
填充材料：Cu
玻璃厚度：100um-800um
最小通孔直徑：10um
過(guò)孔間距/直徑：2:1

機(jī)臺(tái)特點(diǎn):
-陽(yáng)離子交換膜可減少添加劑的使用
-連續(xù)過(guò)濾化學(xué)成分
-干進(jìn)干出、維護(hù)成本低
-定制密封范圍
-作業(yè)效率高
-精確、一致的流量控制
-極其均勻的現(xiàn)場(chǎng)輪廓